第三百章 准备造芯片! (第2/2页)
而后,这个机械手就这么托着这块硅晶圆,转了一圈,然后将其刚好放到了第一个工作台上,随后这个工作台便进入了预定位置,开始了对硅晶圆的预扫描。
扫描了大概八秒钟之后,这个工作台便结束了扫描工作,迅速地和另外一个工作台交换了位置,替换了过去,来到了rdx纯硅晶体透镜下。
接下来,就是最关键的时候来了,也就是他们的x光能否按照既定图案,在这个硅晶圆上刻出来,并且铺满650片!
也就相当于650片芯片!
单片芯片为80平方毫米,他们所用的12英寸硅晶圆面积大概为70659平方毫米,除去边角料的损耗,最佳方案刚好能够生产650片芯片!
当然,他们计划刻出的芯片很简单,或者说,甚至不能称之为芯片,因为他们只是在上面刻出纳米级别的x图案而已,而他们所使用的光源波长为3.56纳米,这就等于说,他们在上面能够刻出线条宽度为3.56nm的x,而线条长度则差不多在35nm左右,是线条宽度的十倍,也就相当于,一个x占据的面积大概为600平方纳米,而这样一来,一片80平方毫米芯片上,也将紧紧密布高达1333亿个x!
这就是人类最精密的机器!
肉眼无法见到的x光被激发,通过rdx纯硅晶体透镜,照在了硅晶圆上面。
上面已经涂抹了华国早就造出来的x光光刻胶,然后和x光开始发生了反应。
而工作台也带着硅晶圆滑动着,渐渐地,一道道看不见的图案在上面形成了。
短短十秒之后。
光刻完成。
双工作台带着这块硅晶圆来到了出口处,然后被出口处的机械手托起来,送出了出口。
众人见到出口处被推出来的硅晶圆,都立马围了上去。
而林晓也走了上去,然后将这块硅晶圆拿了起来。
原本,呈灰黑色的硅晶圆,如今放在灯光之下,竟然冒出了彩色的光辉!
这正是因为其表面被光刻出一千三百多亿个规整的纳米级x图案后,光照在上面,发生了光栅衍射的缘故!
看着这绚丽的彩色,在场的每个人,都忍不住露出了醉人、痴迷的眼神。
多美啊!
这是他们造出来的芯片!
如果按照三星那种充满了水分的制程标法,他们都能够将这块芯片的制程说成3.56nm!
看着这块硅晶圆,林晓甚至想要伸手在上面抚摸一下,但很快,他还是忍住了,然后说道:“去检测一下良品率。”
旁边立马有人走上前接过了这块迷人的硅晶圆,前往了测试仪器,而很快,他就说道:“良品率,100%!”
在场的人脸上都露出高兴的笑容。
当然,他们也只是高兴一下,毕竟他们这个只刻x的芯片,完全没有什么难度,100%良品率而已,实在太正常了。
不过,这也证明了他们的光刻机工作起来,是能够达到既定要求的。
此外,这么一会儿过去,十块硅晶圆也早已全部光刻完毕了,工作效率,也达到了既定目标!
这才是真正让他们都感到高兴的地方。
现在他们完全可以说:阿斯麦尔光刻机也就图一乐,真要看世界顶级光刻机,还得是他们x光计划!
在场的每个人都热血沸腾了起来,然后再次将目光投向林晓。
“林总师,咱们接下来怎么做?”
林晓微微一笑,走到了一台光刻机旁边,然后伸出手,轻轻抚摸了一下上面的x标志。
随后,他转头看向他们,笑着道:“三天之后,和华威签订好协议,然后,我给你们翻译一下,什么叫做惊喜!”
……
三天之后,在定光研究所的会议室中,林晓和从华威远道而来的壬正非一行人进行一场“密谈”,然后拿到了华威麒麟9000的设计图。
而随后,他便开始给他们的无尘车间置办“家具”:氧化炉、沉积设备、蚀刻机、封装机、离子注入机等等。
这些东西,正是晶圆制造过程中不可缺少设备。
光刻机只是其中最精密的设备而已,也是华国唯一被卡脖子的设备,至于其他设备,国内都能买到。
当然,这些东西,林晓很早就下过订单了,所以这些东西基本上一个周内就都能运过来。
而在等待这些东西运过来的时候,林晓也终于为他们揭晓了谜底,将他当初兑换的x光刻机5nm制程芯片工艺拿了出来,让x光计划中的所有人都好好震惊了几天,直到一个周后他们的所有设备到齐后,才恢复过来。
然后,每个人就都满怀着激动的心情,开始学习林晓拿出来的这个工艺,一个工艺包括了许多环节,主要就是光刻以及刻蚀的工作。
一块硅晶圆,需要重复进行多次光刻以及刻蚀,才能造出最终的成品,经过反复的光刻与蚀刻,才能形成最终那些复杂的集成电路。
而这个过程,就是考验技术的时候了。
台积电比三星厉害的地方,也就在于他们所设计的重复光刻与蚀刻的工艺,比三星更好!
至于林晓给出的这个工艺有多厉害,x光计划的人都不知道,但是有总比没有好。
于是,时间再次悄然过去。
而或许是意外,也或许是故意,林晓和华威的那场“密谈”的消息,悄然流出了。
顿时间,行业沸腾了。
各种千奇百怪的消息传遍了行业,而每个消息所围绕的核心就是——
林晓这个x光计划的总设计师,和华威这个正急需国产光刻机的公司,聊了些什么?
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